半导体行业陶瓷件进行电镀后的实现导电性能
来源:技术支持 | 发布日期:2024-05-20

东莞纳隆纳米涂层为DLC/PVD真空镀的生产、研发、集销售为一体的高新科技生产加工型企业,可完成你所需要的单层及复合涂层,纳隆是引入德国涂层技术企业,本公司的技术早已克服了目前国内很多研究机构及涂层厂商的DLC无法工业化的瓶颈,纳隆公司的高性能膜层主要提升工件耐磨耐浸蚀/防磨损摩擦系数低耐腐蚀导电等性能。主营涂层种类DLC, TiN氮化钛,TiAlN, CrN,TiCN,AlCrN,TisiN等,目前解决半导体行业的陶瓷件可采用氮化钛涂层以及CrN涂层实现陶瓷件的导电性能。

一、TIN氮化钛涂层 

1氮化钛TIN涂层的基本性质

氮化钛是一种金属材料涂层可应用于陶瓷件、铝件、不锈钢等金属材料,它具有优异的耐高温、抗腐蚀和光学透明性等特点,可广泛应用于航空航天、汽车、石油化工、光电子等领域。氮化钛的化学式为TiN,在常温下为灰黑色的粉末,具有金刚石样的硬度和高的熔点(约为2950℃)。

2氮化钛涂层的导电性

氮化钛晶体结构稳定,属于面心立方晶系,由Ti-N键构成。在一定条件下,氮化钛能够表现出良好的导电性能,这与材料制备工艺、掺杂元素、微观结构等因素密切相关。在未掺杂的氮化钛晶体中,电子和空穴的浓度均很低,因此电阻率较大(约为10^4 Ω.cm)。通过掺杂其他元素(如VMoW等)或者改变氮化钛晶体结构,可有效地改善其导电性能,并将其应用于电子器件、防雷材料、高速切削工具等领域。

导电涂层

涂层参数

涂层材料

微硬度

摩擦系数

最高应用温度

涂层颜色

钛系膜层

2300HV

<0.4

600

金黄色

 

应用范围:

最典型和通用的导电金属涂层。主要用于车削,铣削,钻削及齿轮类刀具的耐磨涂层和成型及注塑模的防粘连,提高润滑性及耐磨导电保护涂层。

 

应用领域:

精密模具 : 镜面模具、注塑模具、冲压模具、拉伸成型模具、剪切冲头及各类模具部件,如滑块顶针等,切削刀具: 钻头、铣刀、丝锥、滚齿刀、创齿刀、剃齿刀、圆锯片、舍弃式刀片等刃具,量具: 游标卡尺、卡规、量规、塞规、千分尺等。

 

二、CrN (氮化铬涂层)

CrN 涂层一种导电复合涂层,所以拥有良好的导热性和导电性。这使得它成为一种理想的热导材料,在电子器件半导体中有着重要的应用。氮化铬可以用作半导体材料、散热片等,有效提高器件的散热性能。

涂层参数

涂层材料

微硬度

摩擦系数

最高应用温度

涂层颜色

CRN膜层

1800HV

0.4

750

银灰色

 

应用范围:

具有导电、高硬度,耐磨防腐,摩擦系数低以及较好的表面润滑性能。应用于有色金属材料;复合纤维材料的车削,铣削,钻削齿轮加工刀具和成型工件涂层,也适合加工塑料制品。

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