类金刚石膜(DLC)在电子及微电子领域的应用
来源:公司动态 | 发布日期:2024-05-07

1980年以来,类金刚石涂层作为新型镀膜技术一直广受欢迎,而我国在这方面也取得了一些进展,但与发达国家相比仍然还有差距。

类金刚石涂层目前有很多种类,一般类金刚石涂层分为氢化类金刚石碳膜(a-CH)和无氢类金刚石碳膜(a-C)两大类,由于其结构工艺机理极为复杂,目前DLC涂层在高温下会出现稳定性问题,比如在超过400度后DLC涂层会存在很大的内应力,也会降低其结合力,会是的DLC膜层出现起皱,脱落。

类金刚石涂层

但是这也阻挡不了DLC涂层由于特殊的结构,兼备钻石性能,所以它同时也拥有很多优异的性能,比如DLC涂层的抗磨性、化学惰性、沉积温度低、膜面光滑,可以将其作为一些电子产品的保护膜。

类金刚石DLC在电子行业的应用

如喷墨打印机墨盒加热层上、磁存储器的表面、电器中的音膜、半导体行业的电路板加一层类金刚石膜 DLC 保护层、不仅能有效的减少机械损伤,又不影响数据存储。

类金刚石膜具有电阻率高、绝缘性强、化学惰性高和低电子亲和力等性能。人们将类金刚石膜用作光刻电路板的掩膜,不仅可以避免操作过程中的机械损伤,还可以在去除薄膜表面的污染物允许用较激烈的机械或化学腐蚀方法,且且同时不会破坏薄膜的表面。

采用类金刚石膜和碳膜交替出现的多层膜结构构造成的多量子阱结构,具有共振隧道效应的和独特的电特性,在微电子领域有着潜在的应用前景。类金刚石膜具有良好的表面平面光滑度,电子发射均匀性好,即使在较低的外电场作用下,也可产生较大的发生电流,这个性能在平板显示器中有着特殊的使用价值。

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