DLC涂层:解决半导体行业高精密关键部件使用寿命问题
来源:技术支持 | 发布日期:2023-12-20

   据了解,继2020年同比增长17%以及2021年同比增长39%之后,晶圆厂设备支出预计在2022将继续保持增长。SEMI(国际半导体产业协会)指出,2022年全球前端晶圆厂设备(不含封装测试的前道工艺设备,一般为晶圆制造设备)支出预计将超过980亿美元,达到历史新高,连续第三年实现增长。

在半导体产业中,半导体制造设备是我国卡脖子的问题,也是重点鼓励发展的产业。近几年,随着国家政策的调整,半导体行业迅速发展,产业规模急速增大,半导体制造设备持续向精密化、复杂化演变,高精密关键部件的技术要求也越来越高如何改善半导体行业高精密关键部件的使用寿命呢?

 

dlc涂层在半导体中的应用得到市场响应

由于DLC涂层具有高硬度、高弹性模量、高耐磨、高绝缘、耐腐蚀、低膨胀等优点,可用作硅片抛光机、外延/氧化/扩散等热处理设备、光刻机、沉积设备,半导体刻蚀设备,离子注入机等设备的零部件。

半导体精密件dlc处理

dlc涂层的绝缘性能在半导体行业得到应用

DLC涂层在半导体装备中使用最为广泛的半导体行业高精密关键部件。具有材料结构稳定,机械强度高,硬度高,熔点高,抗腐蚀,化学稳定性优良,电阻率大,电绝缘性能好等优点,在半导体设备中应用广泛。

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