一、DLC类金刚石涂层工艺流程

1、工件基体处理。这一步是比较重要的，将工件抛光到小于Ra0.2um,涂覆处理后的工件才可得到满意的表面质量，这对成形一些具有光学性能要求的零件是非常重要的，类似成形光学镜头和成形LED零件等。操作的时候需要注意基体表面处理不能留有死角，这影响到膜层是否能与基体牢固地结合。

2、充分清洗。将要涂覆的工件进行充分清洗，涂覆的母材、质量水平和几何形状决定了清洗的工艺。工件装在设定的夹具上，夹具是在使腔体装载尺寸优化和保证涂覆均匀的基础上设计的。清洗方法为真空室抽真空至10-6托(高真空)来排除系统中的任何污染物，真空室中通入惰性气体并使其离子化，导致产生辉光放电(等离子体)，这是气体清洗阶段使零件做好金属沉淀准备。

3、金属沉淀。在用于沉淀的固体金属上（指靶材）加载高电流、低电压电弧，金属被蒸发并且瞬间离子化，属离子在高能量的作用下通过惰性气体或活性气体进入腔体并沉淀在工件上。在金属沉淀过程中蒸发了的金属(靶材)保持不变。在激活的沉淀过程中，改变气体的体积或种类将会改变膜层的性质，形成像碳化物、氮化物或氧化物的陶瓷。同样，通过改变靶材的材质也可以产生不同的膜层。

二、类金刚石涂层的质量检验

　　涂覆完成后，就要对成形工件的膜层质量进行检验，检测膜层厚度是否均匀、工件的光泽、膜层是否出现分层及尺寸是否在控制范围内。如果膜层出现问题、厚度超差、结合力不强等问题需要及时解决，下面我们来了解一下相应的解决办法是什么吧!

1、检验膜层均匀度

　　检验成形后的膜层如果出现光泽不均匀、有花纹，应该是靶材的材质的纯净度不够，杂质多就会导致膜层不均匀。也可能是涂覆设备的故障。

　　解决办法：所以如果检验出了膜层的问题可以先检测设备是否故障，如果设备稳定正常的话则必须更换靶材。

2、检验膜层厚度

　　检验膜层时如果发现厚度超差的情况，可能是处理时间过长或过短所导致的。

　　解决办法：在设备稳定正常的情况下，膜层的厚度都是取决于成形的工艺时间，所以如果出现膜层超差的情况只要调整处理时间就可以了。

3、检验结合力

　　检验膜层和工件基体之间的结合力，结合力不强会出现分层现象。导致这种问题的原因很多，比如工件清洗得不干净、不彻底，工件的基体没有抛光到工艺要求或者存在缺陷，成形工艺参数不合理等。

　　解决办法：如果出现这种情况的话需要一一排除，找到真正的原因，从而解决基体与膜层分层的问题，有时需要在工件上预先涂覆一层金属来消除基体本身的缺陷。